Máy Phủ Chân Không HHV – Model BT 150, BT 300, Auto 306, Auto 500, ATS 500

Máy phủ chân không HHV là giải pháp lắng đọng màng mỏng dành cho phòng thí nghiệm và dây chuyền sản xuất. Thiết bị hỗ trợ nhiều công nghệ như bay hơi nhiệt, bay hơi chùm tia điện tử và phún xạ magnetron. Các dòng máy phổ biến gồm HHV BT 150, BT 300, Auto 306, Auto 500, ATS 500 và TF Series.

HHV là thương hiệu công nghệ chân không có nguồn gốc từ Ấn Độ. Hãng được thành lập từ năm 1965 và có nhiều kinh nghiệm về chân không cao. Danh mục sản phẩm gồm máy phủ màng mỏng, bơm chân không, lò chân không và thiết bị quang học. HHV còn thiết kế hệ thống theo yêu cầu của từng ứng dụng.

Máy phủ chân không HHV được sử dụng trong nghiên cứu vật liệu, quang học, điện tử và bán dẫn. Thiết bị cũng phục vụ hàng không, quốc phòng và chuẩn bị mẫu hiển vi điện tử. Mỗi model có kích thước buồng, nguồn phủ và khả năng tự động hóa khác nhau. Vì vậy, người dùng cần lựa chọn cấu hình theo vật liệu và năng suất thực tế.

Danh sách model máy phủ chân không HHV

Dòng máy	Model tiêu biểu	Công nghệ và ứng dụng
BT Series	HHV BT 150	Phủ mẫu SEM, TEM và nghiên cứu vật liệu nano
BT Series	HHV BT 300	Phủ mẫu kích thước lớn hơn, hỗ trợ nhiều nguồn phủ
Auto Series	HHV Auto 306	Nghiên cứu màng mỏng, bay hơi nhiệt và phún xạ
Auto Series	HHV Auto 500	Nghiên cứu nâng cao, phát triển quy trình PVD
ATS Series	HHV ATS 500	Nghiên cứu và sản xuất theo mẻ nhỏ
TF Series	HHV TF 600	Nghiên cứu nâng cao và phủ sản phẩm quy mô vừa
TF Series	HHV TF 800	Phủ quang học và sản xuất công nghiệp
TF Series	HHV TF 1400	Phủ chi tiết kích thước lớn, năng suất cao
Opticoat Series	HHV Opticoat	Phủ chống phản xạ cho tròng kính
Custom Systems	Theo yêu cầu	Hệ thống phủ chuyên dụng cho từng quy trình

Thông số của từng máy có thể thay đổi theo cấu hình đặt hàng. Các lựa chọn thường liên quan đến loại bơm, nguồn phủ, bộ gá và thiết bị đo chiều dày. Người dùng nên cung cấp đầy đủ thông tin ứng dụng trước khi chọn model.

Máy phủ chân không /HHV và khả năng tạo màng mỏng

Máy phủ chân không HHV tạo một hoặc nhiều lớp vật liệu trên bề mặt sản phẩm. Vật liệu nền có thể là kính, kim loại, silicon, polymer hoặc gốm. Lớp phủ được kiểm soát với chiều dày rất nhỏ. Một số quy trình yêu cầu đo ở cấp nanomet hoặc angstrom.

Quá trình lắng đọng diễn ra trong buồng kín có áp suất thấp. Môi trường chân không làm giảm sự va chạm giữa hạt phủ và phân tử khí. Nhờ đó, vật liệu di chuyển ổn định đến bề mặt sản phẩm. Lớp màng hình thành có độ tinh khiết và độ đồng đều cao.

Thiết bị có thể tạo lớp phủ kim loại, điện môi hoặc màng chức năng. Tính chất lớp phủ phụ thuộc vào vật liệu và công nghệ lắng đọng. Người dùng có thể phát triển màng dẫn điện, lớp chống phản xạ hoặc lớp bảo vệ. Máy cũng hỗ trợ chế tạo lớp phủ nhiều tầng.

Máy phủ chân không HHV BT 150

HHV BT 150 là máy phủ chân không để bàn có thiết kế nhỏ gọn. Model này hướng đến phòng thí nghiệm và cơ sở chuẩn bị mẫu. Thiết bị phù hợp với mẫu dùng cho kính hiển vi điện tử SEM và TEM.

Mẫu được đặt trên bộ gá quay bên trong buồng chân không. Chuyển động quay giúp vật liệu phủ phân bố đều hơn. Hệ thống có thể vận hành tự động hoặc thủ công. Màn hình cảm ứng hỗ trợ cài đặt và theo dõi quy trình.

HHV BT 150 phù hợp khi không gian lắp đặt bị giới hạn. Thiết bị có thể dùng để phủ kim loại hoặc carbon tùy cấu hình. Đây là lựa chọn dành cho trường đại học, viện nghiên cứu và phòng kiểm tra vật liệu.

Máy phủ chân không HHV BT 300

HHV BT 300 thuộc cùng nhóm máy phủ để bàn với BT 150. Model này phù hợp khi người dùng cần không gian buồng lớn hơn. Thiết bị có thể phục vụ nghiên cứu vật liệu nano và chuẩn bị mẫu hiển vi.

Bộ điều khiển của BT Series có khả năng lưu nhiều công thức phủ. Theo công bố của HHV, hệ thống có thể lưu đến 30 chương trình. Người vận hành dễ dàng gọi lại công thức đã sử dụng. Điều này nâng cao độ lặp lại giữa các mẻ.

Thiết bị theo dõi chiều dày màng trong quá trình phủ. Khi đạt giá trị cài đặt, nguồn lắng đọng được dừng tự động. Chức năng này hạn chế sai lệch do thao tác thủ công. HHV BT 150 và BT 300 phù hợp với các phòng thí nghiệm cần thiết bị nhỏ gọn và dễ sử dụng.

Máy phủ chân không HHV Auto 306

HHV Auto 306 là nền tảng phủ màng mỏng đa năng cho nghiên cứu. Thiết bị có nhiều lựa chọn về buồng chân không và cụm bơm. Người dùng cũng có thể lựa chọn nguồn lắng đọng theo vật liệu.

Auto 306 có thể tích hợp bay hơi nhiệt hoặc phún xạ magnetron. Một số cấu hình hỗ trợ gia nhiệt đế và điều khiển khí. Thiết kế module tạo điều kiện nâng cấp khi nhu cầu thay đổi. Model này phù hợp với nghiên cứu PVD và vật liệu nano.

HHV Auto 306 thường được lựa chọn cho hoạt động phát triển quy trình. Hệ thống hỗ trợ thử nghiệm nhiều vật liệu trên cùng nền tảng. Người dùng cần xác định loại đế, độ dày màng và mức chân không trước khi đặt máy.

Máy phủ chân không HHV Auto 500

HHV Auto 500 cung cấp không gian xử lý lớn hơn Auto 306. Thiết bị phù hợp với nghiên cứu nâng cao và sản xuất thử nghiệm. Hệ thống có thể tích hợp nhiều nguồn phủ trong cùng buồng.

Tùy cấu hình, Auto 500 hỗ trợ bay hơi nhiệt, electron beam hoặc phún xạ. Bộ gá quay giúp cải thiện độ đồng đều của lớp màng. Thiết bị đo chiều dày cung cấp tín hiệu phản hồi cho bộ điều khiển.

Model HHV Auto 500 phù hợp với viện nghiên cứu và doanh nghiệp phát triển sản phẩm mới. Máy có thể phục vụ quang học, cảm biến và linh kiện điện tử. Cấu hình thực tế cần được thiết kế theo quy trình của từng khách hàng.

Máy phủ chân không HHV ATS 500

HHV ATS 500 là hệ thống phủ dạng buồng dành cho nghiên cứu và sản xuất theo mẻ nhỏ. Model này có tính linh hoạt cao và hỗ trợ nhiều kỹ thuật PVD. Người dùng có thể bố trí nguồn phủ theo yêu cầu của từng lớp màng.

ATS 500 có thể tích hợp nguồn bay hơi nhiệt và súng electron beam. Hệ thống cũng hỗ trợ phún xạ magnetron thông thường hoặc cân bằng. Các module đo chiều dày, cấp khí và gia nhiệt đế có thể được bổ sung.

HHV ATS 500 phù hợp với quá trình chuyển từ nghiên cứu sang sản xuất thử. Thiết bị giúp đánh giá công thức trước khi đầu tư dây chuyền lớn. Model này được sử dụng trong nghiên cứu quang học, điện tử và vật liệu chức năng.

Máy phủ chân không HHV TF 600

HHV TF 600 là hệ thống phủ có quy mô lớn hơn dòng Auto và ATS. Thiết bị hướng đến nghiên cứu nâng cao và sản xuất. Buồng phủ cho phép xử lý nhiều mẫu hoặc sản phẩm kích thước lớn hơn.

TF 600 có thể được cấu hình cho màng quang học và lớp phủ đa tầng. Hệ thống tự động điều khiển áp suất, nguồn phủ và chuyển đổi vật liệu. Việc lưu công thức giúp quy trình có độ lặp lại cao.

Model HHV TF 600 phù hợp với doanh nghiệp cần năng suất ổn định. Thiết bị cũng đáp ứng các trung tâm nghiên cứu có nhiều dự án khác nhau. Loại nguồn phủ cần được lựa chọn theo vật liệu và chất lượng màng.

Máy phủ chân không HHV TF 800 và TF 1400

HHV TF 800 và HHV TF 1400 thuộc nhóm máy phủ màng mỏng cỡ lớn. Các model này phù hợp với lớp phủ quang học và sản xuất công nghiệp. Hệ thống có thể xử lý nhiều sản phẩm trong một chu trình.

Thiết bị được thiết kế để kiểm soát lớp phủ đa tầng. Các lớp có chiết suất khác nhau được lắng đọng theo công thức. Quá trình này tạo bộ lọc quang, lớp chống phản xạ hoặc gương phản xạ.

HHV TF 1400 hướng đến sản phẩm lớn và năng suất cao hơn. Tuy nhiên, lựa chọn model không chỉ dựa vào kích thước buồng. Người dùng còn phải đánh giá độ đồng đều, số lớp và tốc độ phủ. Điều kiện điện, nước làm mát và khí công nghệ cũng cần được tính toán.

Máy phủ chân không HHV Opticoat

HHV Opticoat là dòng thiết bị dành cho ngành kính mắt. Máy tạo lớp phủ chống phản xạ trên tròng kính đã được phủ lớp cứng. Vật liệu phù hợp gồm CR-39, polycarbonate và vật liệu chiết suất cao. Hệ thống ứng dụng công nghệ bay hơi chùm tia điện tử hỗ trợ ion. Nguồn ion giúp làm sạch bề mặt và cải thiện đặc tính lớp màng. Thiết bị hỗ trợ lập trình công thức phủ tự động.

Bộ gá dạng vòm phân đoạn giúp nạp và lấy tròng kính thuận tiện. Dòng Opticoat phù hợp với phòng gia công tròng kính quy mô nhỏ và vừa. Cấu hình có thể được điều chỉnh theo loại tròng kính và sản lượng.

Nguyên lý hoạt động của máy phủ chân không HHV

Chu trình bắt đầu bằng việc đặt sản phẩm lên bộ gá. Buồng phủ sau đó được đóng kín. Bơm sơ cấp loại bỏ phần lớn không khí trong buồng. Bơm chân không cao tiếp tục giảm áp suất đến giá trị cài đặt.

Sản phẩm có thể được làm sạch bằng plasma hoặc chùm ion. Bước này loại bỏ hơi ẩm và tạp chất trên bề mặt. Sau đó, vật liệu được bay hơi hoặc phún xạ. Các hạt vật liệu di chuyển đến sản phẩm và hình thành lớp màng.

Cảm biến thạch anh theo dõi tốc độ cùng chiều dày phủ. Bộ điều khiển điều chỉnh nguồn để duy trì quá trình ổn định. Khi lớp phủ đạt yêu cầu, nguồn được tắt. Buồng được làm nguội trước khi nạp khí và lấy sản phẩm.

Công nghệ phủ trên máy chân không HHV

Bay hơi nhiệt sử dụng điện trở để nung nóng vật liệu. Công nghệ này phù hợp với kim loại có nhiệt độ bay hơi thích hợp. Hệ thống có cấu tạo gọn và dễ vận hành. Bay hơi chùm tia điện tử tạo mật độ năng lượng cao. Công nghệ phù hợp với vật liệu có nhiệt độ nóng chảy lớn. Nguồn electron beam thường dùng trong lớp phủ quang học và điện môi.

Phún xạ magnetron sử dụng plasma để tách nguyên tử khỏi bia. Nguồn DC phù hợp với nhiều vật liệu dẫn điện. Nguồn RF có thể dùng cho một số vật liệu không dẫn điện. Khi cấp thêm oxy hoặc nitơ, hệ thống có thể tạo màng oxide hoặc nitride.

Lựa chọn model máy phủ chân không HHV

BT 150 và BT 300 phù hợp với chuẩn bị mẫu cùng nghiên cứu quy mô nhỏ. Auto 306 thích hợp cho phòng thí nghiệm cần nền tảng linh hoạt. Auto 500 cung cấp không gian và khả năng mở rộng lớn hơn.

ATS 500 phù hợp với nghiên cứu kết hợp sản xuất theo mẻ nhỏ. TF 600, TF 800 và TF 1400 hướng đến phủ quang học hoặc sản xuất. Dòng Opticoat được phát triển cho tròng kính nhãn khoa.

Trước khi chọn máy, người dùng cần xác định vật liệu phủ và vật liệu nền. Các thông tin khác gồm kích thước sản phẩm, chiều dày và số lớp. Năng suất, độ đồng đều và tốc độ phủ cũng rất quan trọng.

Máy phủ chân không HHV tại Việt Nam

Nhu cầu sử dụng máy phủ chân không HHV tại Việt Nam đang tập trung vào nghiên cứu vật liệu và quang học. Thiết bị cũng phù hợp với điện tử, bán dẫn và trung tâm thử nghiệm. Nhiều model cho phép tùy chỉnh theo mục tiêu sử dụng.

Khi tìm nhà cung cấp máy phủ chân không HHV, khách hàng nên cung cấp thông số ứng dụng. Model cần được kiểm tra cùng nguồn điện, khí và nước làm mát. Việc lựa chọn đúng cấu hình giúp nâng cao chất lượng màng và tối ưu chi phí đầu tư.

Máy phủ chân không HHV là giải pháp toàn diện cho công nghệ màng mỏng. Danh mục từ BT 150 đến TF 1400 đáp ứng nhiều quy mô khác nhau. Khả năng tùy chỉnh giúp thiết bị thích nghi với nghiên cứu và sản xuất công nghiệp.